ペルチェ素子って聞いて、それを説明できる方は少ないのでは？？？
私も技術者ではないので、詳しくは説明できませんが・・・(^^♪
上記画像がペルチェ素子です。
ペルチェ素子の説明は、後日の機会に詳しくご説明するとして・・・・・。
当社が取り扱っている製品の中には、この温度調整に役立つ新技術「ペルチェ素子」を活用した製品が数多くあります。
ペルサーモ
ペルフレッシュ
ケミカルペルサーモ
ナノサーモ
などなど。
従来の技術と比較して、各種製品の小型化を実現でき、スペースの有効利用に一役買っています。
もちろん、エネルギー効率もよく、無駄な電力を使用しないので、省エネも実現。
また、このペルチェ素子を活用している製品は、サービス・メンテナンスが容易なのも、特徴の一つ。
気体・液体の温調管理製品として、研究から産業市場まで、数多くのフィールドで使用されています。
下記用途の一例です。
液体温調用
◆ レジスト液の間接温調
◆ ウェーハプレート温調
◆ 小型チラーの置換
◆ ウェーハ洗浄薬液の直接温調
◆ CMP用スラリーの直接温調
◆ レジスト液の直接温調
◆ 薬品混合時の温調
気体用温調
◆ コーターカップ内温湿度調節
◆ マスク保管庫の温調
◆ 精密計測空間の温調
◆ 空気静圧軸受用エアーの温調
◆ N２ガスの温調
